一种高效镀膜装置及镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510793412.3

申请日：

2025-06-13

公开(公告)号：

CN120796934A

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

张德军

申请人：

深圳市创基真空科技有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区松岗街道潭头社区第四工业区A区10栋B201

IPC主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

C23C14/54

代理机构：

深圳维启专利代理有限公司 44827

代理人：

梁师浩

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	公开	公开
2025-12-30	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):C23C 14/56申请公布日:20251017
2025-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20250613

共 50 条

[1]

一种防污膜镀膜装置及镀膜方法 [P].

崔户丹 ;

王鹏涛 ;

张景涛 .

中国专利 :CN114622169A ,2022-06-14

[2]

一种镀膜装置及镀膜方法 [P].

卢佳毅 .

中国专利 :CN107937869A ,2018-04-20

[3]

一种镀膜装置及镀膜方法 [P].

周学文 ;

李周坤 .

中国专利 :CN118814111A ,2024-10-22

[4]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

张智能 ;

余安华 ;

陈明华 .

中国专利 :CN1459517A ,2003-12-03

[5]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

刘亮 ;

杨彦伟 ;

邹颜 .

中国专利 :CN112779522A ,2021-05-11

[6]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

裴绍凯 .

中国专利 :CN102373444A ,2012-03-14

[7]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

杨肸曦 .

中国专利 :CN111041443A ,2020-04-21

[8]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

松浦宏育 ;

土井秀明 ;

加藤升 ;

韭泽信广 .

中国专利 :CN101962749A ,2011-02-02

[9]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

黄国兴 ;

王旭 ;

万志 .

中国专利 :CN107675139A ,2018-02-09

[10]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

冯森 ;

陈新春 ;

陆智俊 .

中国专利 :CN117089806B ,2025-10-10

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