半导体显影液的过滤系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422950706.6

申请日：

2024-11-29

公开(公告)号：

CN223439372U

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

陈琪谭敏梁骏段平平

申请人：

比亚迪股份有限公司比亚迪汽车工业有限公司

申请人地址：

518118 广东省深圳市坪山区比亚迪路3009号

IPC主分类号：

B01D36/00

IPC分类号：

代理机构：

北京景闻知识产权代理有限公司 11742

代理人：

张强

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权

共 50 条

[1]

显影液过滤系统及显影液的过滤方法 [P].

林子扬 ;

刘朕与 ;

张庆裕 ;

林进祥 .

中国专利 :CN109806658B ,2019-05-28

[2]

显影液供应系统 [P].

黄斌 .

中国专利 :CN211698592U ,2020-10-16

[3]

一种显影机显影液过滤系统 [P].

鲁全勇 .

中国专利 :CN203750289U ,2014-08-06

[4]

PCB显影液过滤装置 [P].

张强 ;

叶锦添 .

中国专利 :CN205933438U ,2017-02-08

[5]

一种显影液涂布系统及半导体制造设备 [P].

赵志豪 ;

金鑫 ;

沈俊明 ;

古哲安 ;

吴建宏 .

中国专利 :CN221303816U ,2024-07-09

[6]

显影液过滤装置 [P].

刘世奇 ;

任思雨 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN105688502B ,2016-06-22

[7]

显影液供给系统 [P].

罗海航 .

中国专利 :CN223450316U ,2025-10-17

[8]

显影液过滤组件 [P].

刘世奇 ;

任思雨 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN105771653B ,2016-07-20

[9]

显影液离心过滤回收系统 [P].

李建军 ;

郭松 .

中国专利 :CN118598276A ,2024-09-06

[10]

一种半导体用显影液生产装置 [P].

童晨 ;

吴海燕 ;

陈桂红 ;

孙元 ;

韩成强 .

中国专利 :CN115400718A ,2022-11-29

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