一种具有防护结构的酸性蚀刻液再生回用装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423193219.6

申请日：

2024-12-24

公开(公告)号：

CN223535218U

公开(公告)日：

2025-11-11

发明(设计)人：

白坤生彭汉杰谢彬邹青许道敏

申请人：

东莞秀博电子材料有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市沙田镇鱼立东路1号

IPC主分类号：

C23F1/46

IPC分类号：

C25C1/12 C25C7/00 C25C7/06 B01D46/30 B01D53/04

代理机构：

深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525

代理人：

陈列生;覃业军

法律状态：

授权

国省代码：

广东省韶关市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

提高酸性蚀刻液再生回用率的系统 [P].

李琪中 ;

何世武 ;

刘彩林 ;

赵庆琚 .

中国专利 :CN215050707U ,2021-12-07

[2]

酸性蚀刻液再生回用系统 [P].

李再强 ;

黄文涛 ;

张伟奇 .

中国专利 :CN110172701A ,2019-08-27

[3]

一种酸性蚀刻液循环回用装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222574790U ,2025-03-07

[4]

一种酸性蚀刻液循环回用装置 [P].

谭兆坚 ;

沈君华 ;

黄家力 .

中国专利 :CN210560765U ,2020-05-19

[5]

一种酸性蚀刻液循环再生回用塔 [P].

凡许强 .

中国专利 :CN215404537U ,2022-01-04

[6]

一种酸性蚀刻液再生循环回用设备 [P].

刘景亮 ;

司波 ;

颜运能 .

中国专利 :CN208829766U ,2019-05-07

[7]

酸性蚀刻液电解氯气回用装置 [P].

谢晋 ;

雷欢 ;

罗婷婷 ;

周义锦 ;

曾俊达 .

中国专利 :CN217077815U ,2022-07-29

[8]

提高酸性蚀刻液再生回用率的系统 [P].

刘剑锋 ;

高东瑞 ;

李强 .

中国专利 :CN209836312U ,2019-12-24

[9]

一种酸性蚀刻液再生装置 [P].

凡许强 .

中国专利 :CN215404538U ,2022-01-04

[10]

酸性蚀刻液再生方法和酸性蚀刻液再生装置 [P].

梅枝孝道 ;

北川悌也 .

中国专利 :CN1712567A ,2005-12-28

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