制造用于控制材料的定向沉积的中空壁的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980102686.6

申请日：

2019-12-05

公开(公告)号：

CN114746978B

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

P·阿塞夫 E·彻尼舍瓦 A·辛格王贯中

申请人：

微软技术许可有限责任公司

申请人地址：

美国华盛顿州

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

C23C14/04 C23C14/22 H01L21/033 H10N60/01

代理机构：

北京世辉律师事务所 16093

代理人：

李峥宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-31	授权	授权

共 50 条

[1]

制造用于控制材料的定向沉积的中空壁的方法 [P].

P·阿塞夫 ;

E·彻尼舍瓦 ;

A·辛格 ;

王贯中 .

中国专利 :CN114746978A ,2022-07-12

[2]

用于控制材料转移的方法 [P].

C·C·傅 .

中国专利 :CN102549400B ,2012-07-04

[3]

使用磁场控制材料沉积的系统和方法 [P].

L.王 ;

Q.王 ;

D.J.威尔逊 .

美国专利 :CN114309643B ,2025-01-03

[4]

使用磁场控制材料沉积的系统和方法 [P].

L.王 ;

Q.王 ;

D.J.威尔逊 .

中国专利 :CN114309643A ,2022-04-12

[5]

用于控制材料供给元件的方法 [P].

延斯·亚尼克 .

德国专利 :CN120916884A ,2025-11-07

[6]

用于控制材料幅面边缘的位置的方法 [P].

弗兰克·萨巴托 ;

约亨·雷恩 .

中国专利 :CN112236366A ,2021-01-15

[7]

用于控制材料带的厚度的方法和装置 [P].

F·布莱斯福德 ;

D·摩斯利 .

中国专利 :CN108947218B ,2018-12-07

[8]

用于控制材料的装载/卸载的方法和系统 [P].

拉斯·通贝里 .

中国专利 :CN113366173A ,2021-09-07

[9]

用于包装的主动水分控制材料 [P].

S.西托宁 ;

K.内瓦赖宁 .

中国专利 :CN108350662A ,2018-07-31

[10]

控制材料的设备和方法 [P].

P·加罗 ;

J·德雷昂 ;

L·迪歇纳 ;

A·冈杜瓦 ;

L·迪朗 ;

V·泰西耶 ;

P·伊韦尔松 ;

N·罗比克 .

中国专利 :CN101627299B ,2010-01-13

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