检测装置和半导体工艺设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422716407.6

申请日：

2024-11-07

公开(公告)号：

CN223539561U

公开(公告)日：

2025-11-11

发明(设计)人：

岳耀宇常金梁周子光徐文涛王一凡郝云鹏王顺

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315

代理人：

刘亚岐

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

检测装置和半导体工艺设备 [P].

王明伟 .

中国专利 :CN220934021U ,2024-05-10

[2]

兼具距离和温度的检测装置和半导体工艺设备 [P].

张敬博 ;

王建宗 ;

张瑶瑶 .

中国专利 :CN121163575A ,2025-12-19

[3]

驱动装置和半导体工艺设备 [P].

刘彤 ;

史哲 ;

杨来宝 ;

耿丹 ;

李补忠 .

中国专利 :CN118758058A ,2024-10-11

[4]

传输装置和半导体工艺设备 [P].

王增辉 .

中国专利 :CN220672539U ,2024-03-26

[5]

承载装置和半导体工艺设备 [P].

吴东煜 ;

张照 .

中国专利 :CN220984501U ,2024-05-17

[6]

半导体工艺设备 [P].

李欣雨 ;

李旭刚 .

中国专利 :CN119890095A ,2025-04-25

[7]

半导体工艺设备 [P].

王凡 ;

王晓飞 ;

赵庆峰 ;

燕纪威 .

中国专利 :CN119852214A ,2025-04-18

[8]

半导体工艺设备 [P].

王文卓 ;

任亚龙 ;

常江 ;

谭瑞雷 .

中国专利 :CN120184065A ,2025-06-20

[9]

高度测量装置和半导体工艺设备 [P].

周李邦 ;

周厉颖 ;

黄嵘彪 ;

姚晶 .

中国专利 :CN222734933U ,2025-04-08

[10]

进气装置和半导体工艺设备 [P].

梁建辉 ;

翟梦阳 ;

赵东华 ;

龚国腾 ;

石运全 .

中国专利 :CN120210946A ,2025-06-27

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