一种具备防脱落保护的晶圆盒专用智能夹爪

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202511525303.X
申请日
2025-10-24
公开(公告)号
CN120985704A
公开(公告)日
2025-11-21
发明(设计)人
洪成都 郭启彬 张振义 林晋昇 邱正平
申请人
捷螺智能设备(苏州)有限公司
申请人地址
215000 江苏省苏州市吴中区越溪街道南官渡路12号4号厂房
IPC主分类号
B25J15/12
IPC分类号
B25J15/00 H01L21/677 H01L21/67
代理机构
苏州京昀知识产权代理事务所(普通合伙) 32570
代理人
顾友
法律状态
公开
国省代码
江苏省 苏州市
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共 50 条
[1]
晶圆储存盒专用转运夹爪 [P]. 
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[3]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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