掩膜板、掩膜板组件及掩膜板组件的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511032787.4

申请日：

2025-07-24

公开(公告)号：

CN120844011A

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

余强根甘帅燕钱超

申请人：

江苏高光半导体材料有限公司

申请人地址：

212499 江苏省镇江市句容市经济开发区阳山路19号

IPC主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

C23C14/24 H10K71/16

代理机构：

北京允天律师事务所 11697

代理人：

李建航;李江宁

法律状态：

公开

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	公开	公开
2025-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/04申请日:20250724

共 50 条

[1]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

刘明星 ;

王徐亮 ;

高峰 ;

张玄 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN108559947B ,2018-09-21

[2]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

周丽芳 ;

刘明星 ;

王徐亮 .

中国专利 :CN108642441A ,2018-10-12

[3]

掩膜板的制作方法、掩膜板及掩膜组件 [P].

张丁成 .

中国专利 :CN120330659A ,2025-07-18

[4]

掩膜板及其制作方法、掩膜板组件 [P].

张蔡星 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN120519804A ,2025-08-22

[5]

掩膜板及其制作方法、掩膜板组件 [P].

张蔡星 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN120464965A ,2025-08-12

[6]

掩膜板组件及制作掩膜板组件的方法 [P].

嵇凤丽 ;

朴进山 ;

朱艺丹 .

中国专利 :CN111041416B ,2020-04-21

[7]

掩膜板及掩膜板组件 [P].

刘颖 ;

付佳 ;

周皓月 ;

赵晶晶 ;

刘明星 .

中国专利 :CN114807844A ,2022-07-29

[8]

掩膜板及掩膜板组件 [P].

王恩霞 ;

孙琳 ;

李世泰 ;

李慧 ;

李伟丽 ;

刘明星 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN111926291A ,2020-11-13

[9]

掩膜板、掩膜板组件及掩膜板的制备方法 [P].

邢汝博 .

中国专利 :CN119932476A ,2025-05-06

[10]

掩膜板及其制作方法、掩膜组件 [P].

林治明 ;

王震 .

中国专利 :CN106086785B ,2016-11-09

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