一种提高TOPCon电池LPCVD炉管洁净度的方法

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专利类型
发明
申请号
CN202411100125.1
申请日
2024-08-09
公开(公告)号
CN120818811A
公开(公告)日
2025-10-21
发明(设计)人
叶文兰 刘琦 易攀辉 万超
申请人
环晟光伏(江苏)有限公司
申请人地址
214200 江苏省无锡市宜兴市宜兴经济技术开发区文庄路20号
IPC主分类号
C23C16/44
IPC分类号
H10F71/00
代理机构
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人
李淼
法律状态
公开
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
[1]
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[9]
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[10]
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