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一种晶圆对位组装用电动升降台及其使用方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511072509.1
申请日：
2025-08-01
公开(公告)号：
CN120834067A
公开(公告)日：
2025-10-24
发明(设计)人：
曹佶
汪涛
刘欢
申请人：
浙江杭可仪器有限公司
申请人地址：
311231 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区桥南区块鸿达路157号
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/68
H01L21/66
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-24 | 公开 | 公开 |
| 2025-11-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20250801 |