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垫温度调节装置、垫温度调节方法及研磨装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110494699.1
申请日：
2021-05-07
公开(公告)号：
CN113618622B
公开(公告)日：
2025-10-17
发明(设计)人：
鱼住修司
丸山徹
申请人：
株式会社荏原制作所
申请人地址：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
IPC主分类号：
B24B37/015
IPC分类号：
B24B37/005
B24B55/02
B24B37/20
H01L21/67
代理机构：
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人：
张丽颖
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-17 | 授权 | 授权 |