一种用于半导体洁净室TVOC检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202520004036.0

申请日：

2025-01-02

公开(公告)号：

CN223499187U

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

江仁林黄金锋周明王如宝刘正铎唐炳兰尚传新

申请人：

北京杜克泰克科技有限公司

申请人地址：

100085 北京市海淀区信息路15号8层813

IPC主分类号：

F16M11/04

IPC分类号：

F16M11/18 F16M11/42 F16F15/067

代理机构：

重庆版嘉知服专利代理事务所(普通合伙) 50342

代理人：

王仁林

法律状态：

授权

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-31	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于半导体洁净室MA检测装置 [P].

江仁林 ;

黄金锋 ;

周明 ;

王如宝 ;

刘正铎 ;

唐炳兰 ;

尚传新 .

中国专利 :CN223742096U ,2025-12-30

[2]

一种半导体厂房洁净室送风装置 [P].

赵江民 .

中国专利 :CN218421661U ,2023-02-03

[3]

一种用于半导体厂房的洁净室 [P].

杨政谕 .

中国专利 :CN203783198U ,2014-08-20

[4]

一种用于半导体厂房的洁净室 [P].

杨政谕 .

中国专利 :CN203320997U ,2013-12-04

[5]

一种用于半导体厂房的洁净室 [P].

张晓雪 .

中国专利 :CN209324038U ,2019-08-30

[6]

一种半导体厂房洁净室 [P].

王峻毅 ;

洪震 .

中国专利 :CN111305612A ,2020-06-19

[7]

一种用于半导体厂房的洁净室 [P].

王新河 ;

王宁 ;

吴凯龙 ;

刘增树 ;

许颖超 ;

张海强 ;

李旭光 .

中国专利 :CN116379543B ,2025-08-29

[8]

一种用于半导体厂房的洁净室 [P].

杨政谕 .

中国专利 :CN103206101A ,2013-07-17

[9]

一种用于半导体厂房的洁净室 [P].

杨政谕 .

中国专利 :CN103046776B ,2013-04-17

[10]

一种半导体洁净室节能空调系统 [P].

周晓兆 .

中国专利 :CN216281734U ,2022-04-12

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