观察窗挡板结构和真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211367527.9

申请日：

2022-11-03

公开(公告)号：

CN115537759B

公开(公告)日：

2025-10-24

发明(设计)人：

罗捷项舰周帅刘鹏徐军军

申请人：

中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））

申请人地址：

511300 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号

IPC主分类号：

C23C14/52

IPC分类号：

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

张捷美

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-24	授权	授权

共 50 条

[1]

观察窗挡板结构和真空镀膜设备 [P].

罗捷 ;

项舰 ;

周帅 ;

刘鹏 ;

徐军军 .

中国专利 :CN115537759A ,2022-12-30

[2]

一种用于高真空镀膜设备的观察窗磁吸挡板结构 [P].

戚增欣 .

中国专利 :CN223268746U ,2025-08-26

[3]

观察窗真空挡板结构 [P].

朱业胜 ;

姜承法 ;

吴旭宏 .

中国专利 :CN216308652U ,2022-04-15

[4]

一种真空镀膜设备观察窗 [P].

李亚军 .

中国专利 :CN205152325U ,2016-04-13

[5]

真空镀膜室防镀膜观察窗 [P].

关秉羽 .

中国专利 :CN203451612U ,2014-02-26

[6]

真空镀膜室防镀膜观察窗 [P].

关秉羽 .

中国专利 :CN103469171A ,2013-12-25

[7]

一种真空镀膜设备观察窗遮板 [P].

李亚军 .

中国专利 :CN204959027U ,2016-01-13

[8]

真空镀膜机观察窗 [P].

张海营 .

中国专利 :CN307235475S ,2022-04-05

[9]

一种真空镀膜设备观察窗组件 [P].

苏艳波 .

中国专利 :CN215799868U ,2022-02-11

[10]

一种真空镀膜设备用观察窗装置 [P].

张俊峰 ;

赵子东 ;

张志阳 ;

魏庆瑄 .

中国专利 :CN218291103U ,2023-01-13

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