监测低温泵的性能

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202180079492.6

申请日：

2021-11-17

公开(公告)号：

CN116490691B

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

J·卡塞洛 M·S·柯林斯 C·H·杨

申请人：

爱德华兹真空泵有限责任公司

申请人地址：

美国纽约州

IPC主分类号：

F04B37/08

IPC分类号：

F04B49/06 F04B51/00

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

邹龙辉;吴强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	授权	授权

共 50 条

[1]

低温泵、低温泵系统及低温泵的再生方法 [P].

望月健生 .

中国专利 :CN111989487B ,2020-11-24

[2]

低温泵、低温泵系统及低温泵的运转开始方法 [P].

谷津贵裕 ;

木村敏之 .

日本专利 :CN114555943B ,2025-02-07

[3]

低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置 [P].

福田奖 .

中国专利 :CN103291584A ,2013-09-11

[4]

低温泵、低温泵系统及低温泵的运转开始方法 [P].

谷津贵裕 ;

木村敏之 .

中国专利 :CN114555943A ,2022-05-27

[5]

低温泵及低温泵的再生方法 [P].

及川健 .

中国专利 :CN104929897A ,2015-09-23

[6]

低温泵及低温泵的监控方法 [P].

木村敏之 .

中国专利 :CN101956690B ,2011-01-26

[7]

低温泵及低温泵的再生方法 [P].

高桥走 .

日本专利 :CN114382677B ,2024-05-10

[8]

低温泵及低温泵的控制方法 [P].

高桥走 .

中国专利 :CN110741159B ,2020-01-31

[9]

低温泵及低温泵的再生方法 [P].

谷津贵裕 .

日本专利 :CN114320826B ,2024-06-25

[10]

低温泵及低温泵的再生方法 [P].

高桥走 .

中国专利 :CN114382677A ,2022-04-22

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