一种基于矢量图结构和光场调制的激光刻印系统与方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210994800.4

申请日：

2022-08-18

公开(公告)号：

CN115629480B

公开(公告)日：

2025-11-04

发明(设计)人：

赵伟朱月强

申请人：

西北大学

申请人地址：

710127 陕西省西安市长安区郭杜大学城学府大街1号

IPC主分类号：

G02B27/09

IPC分类号：

代理机构：

西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223

代理人：

韩晓娟

法律状态：

授权

国省代码：

陕西省西安市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于矢量图结构和光场调制的激光刻印系统与方法 [P].

赵伟 ;

朱月强 .

中国专利 :CN115629480A ,2023-01-20

[2]

一种基于空间光调制器的激光加工系统 [P].

邹武兵 ;

彭辰 ;

李霖 .

中国专利 :CN223616941U ,2025-12-02

[3]

一种基于矢量化路径和光场调控的多焦点激光加工方法及加工系统 [P].

赵伟 ;

段林含 ;

张琛 ;

朱月强 .

中国专利 :CN115121941B ,2025-08-12

[4]

一种基于矢量化路径和光场调控的多焦点激光加工方法及加工系统 [P].

赵伟 ;

段林含 ;

张琛 ;

朱月强 .

中国专利 :CN115121941A ,2022-09-30

[5]

一种激光刻印系统 [P].

张嘉声 ;

何祥旺 ;

刘耀良 ;

文振宇 ;

谢金声 ;

姚建楠 ;

陈胜龙 .

中国专利 :CN112171069B ,2021-01-05

[6]

基于双高阶矢量光束耦合实现可调扭曲光场的装置与方法 [P].

刘宇 ;

王恒景 ;

王丹 .

中国专利 :CN120028960A ,2025-05-23

[7]

一种激光刻印头部结构 [P].

罗劲锋 .

中国专利 :CN206039146U ,2017-03-22

[8]

一种基于空间光调制器的干涉光刻系统和方法 [P].

王笑冰 ;

李建兵 ;

张海明 .

中国专利 :CN102967999A ,2013-03-13

[9]

一种激光刻印运动系统 [P].

张嘉声 ;

刘耀良 ;

何祥旺 ;

谢金声 .

中国专利 :CN112171070B ,2021-01-05

[10]

基于矢量光场调控的超衍射极限激光直写装置和方法 [P].

罗梦迪 ;

匡翠方 ;

温积森 ;

朱大钊 ;

詹刚垚 .

中国专利 :CN117970752A ,2024-05-03

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