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旋转清洗装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010079693.3
申请日：
2020-02-04
公开(公告)号：
CN111564385B
公开(公告)日：
2025-10-17
发明(设计)人：
前岛信 大波豪 中塚敦
申请人：
株式会社迪思科
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
乔婉;于靖帅
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-17 授权 授权
共 50 条
[1]
旋转清洗装置 [P]. 
前岛信 ;
大波豪 ;
中塚敦 .
中国专利 :CN111564385A ,2020-08-21
[2]
旋转清洗装置 [P]. 
中西优尔 .
中国专利 :CN104289463A ,2015-01-21
[3]
旋转清洗装置 [P]. 
陈桂粦 .
中国专利 :CN105032822A ,2015-11-11
[4]
旋转清洗装置 [P]. 
香西宏彦 ;
山村英司 .
中国专利 :CN102315089A ,2012-01-11
[5]
旋转清洗装置 [P]. 
大谷秀明 .
中国专利 :CN102580938B ,2012-07-18
[6]
旋转清洗装置 [P]. 
凑浩吉 ;
植村信一郎 .
中国专利 :CN102451824A ,2012-05-16
[7]
旋转清洗机构及清洗装置 [P]. 
赵振国 .
中国专利 :CN215543129U ,2022-01-18
[8]
旋转清洗装置 [P]. 
夏辉梁 ;
陈凡文 ;
李俊 .
中国专利 :CN210816517U ,2020-06-23
[9]
旋转清洗装置 [P]. 
陈德和 .
中国专利 :CN212664344U ,2021-03-09
[10]
旋转清洗装置 [P]. 
周艳明 ;
陈凯春 ;
李帮裕 .
中国专利 :CN205436453U ,2016-08-10
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