射频电源输出功率校准方法及装置、半导体工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411823338.7

申请日：

2024-12-11

公开(公告)号：

CN119920726B

公开(公告)日：

2025-11-07

发明(设计)人：

李树瑜王丽

申请人：

北京吉兆源科技有限公司

申请人地址：

100000 北京市海淀区丰慧中路7号新材料创业大厦8层809

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01J37/248 H01J37/32

代理机构：

北京芯创智源知识产权代理事务所(普通合伙) 16290

代理人：

王凯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241211
2025-11-07	授权	授权
2025-05-02	公开	公开

共 50 条

[1]

射频电源输出功率校准方法及装置、半导体工艺方法 [P].

李树瑜 ;

王丽 .

中国专利 :CN119920726A ,2025-05-02

[2]

射频电源输出功率的校准方法和校准装置 [P].

姜宏伟 ;

陈庆 .

中国专利 :CN110531301A ,2019-12-03

[3]

射频电源的校准方法、半导体工艺方法及设备 [P].

卫晶 ;

陈星 ;

韦刚 ;

张建坤 ;

王月姣 ;

刘宁 ;

郝亮 .

中国专利 :CN113539776A ,2021-10-22

[4]

射频电源的输出功率控制方法和系统 [P].

邢凌枫 ;

冉璇 ;

孙海阳 .

中国专利 :CN118778763A ,2024-10-15

[5]

一种射频电源输出功率自动校准方法、装置及可读介质 [P].

何坤孝 ;

邓顶阳 ;

张振伟 .

中国专利 :CN117850530A ,2024-04-09

[6]

射频电源的功率调节方法及半导体工艺设备 [P].

李佩贞 ;

于树泉 ;

张璐 .

中国专利 :CN119650395A ,2025-03-18

[7]

功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备 [P].

杨京 ;

钟晨玉 ;

尤艳艳 .

中国专利 :CN113903642A ,2022-01-07

[8]

功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备 [P].

杨京 ;

钟晨玉 ;

尤艳艳 .

中国专利 :CN113903642B ,2024-04-16

[9]

射频电源的控制方法、装置、射频电源及半导体工艺设备 [P].

李跃鹏 .

中国专利 :CN120034177A ,2025-05-23

[10]

扫频电源及其输出功率的控制方法、半导体工艺设备 [P].

陈虹 ;

李光健 ;

周航 ;

乔世波 .

中国专利 :CN113110687A ,2021-07-13

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