OLED面板掩膜板蚀刻装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511262224.4

申请日：

2025-09-05

公开(公告)号：

CN120738645B

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

周平张少平

申请人：

江苏希尔芯半导体设备有限公司

申请人地址：

226000 江苏省南通市高新区金川路东、油路北

IPC主分类号：

C23F1/08

IPC分类号：

C23F1/02 C23C14/04 H10K71/16

代理机构：

南通知舜景睿知识产权代理有限公司 32817

代理人：

曹军

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-03	公开	公开
2025-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/08申请日:20250905
2025-10-31	授权	授权

共 50 条

[1]

OLED面板掩膜板蚀刻装置 [P].

周平 ;

张少平 .

中国专利 :CN120738645A ,2025-10-03

[2]

掩膜板、掩膜板的制造方法以及OLED面板的制造方法 [P].

李金川 .

中国专利 :CN104393195A ,2015-03-04

[3]

OLED显示面板、显示装置及掩膜板 [P].

吕鹏 ;

李云龙 ;

刘伟 ;

杨盛际 ;

张大成 .

中国专利 :CN117715466A ,2024-03-15

[4]

掩膜板及掩膜装置、显示面板 [P].

张奥文 ;

范文志 ;

李瑶 ;

朱超 ;

达仕勋 .

中国专利 :CN119620530A ,2025-03-14

[5]

一种金属掩膜板蚀刻装置 [P].

隋鑫 ;

朱海彬 ;

尹小江 ;

胡胜坤 ;

孟辉辉 ;

赵芳芳 ;

晁亮 ;

杨志业 .

中国专利 :CN221566326U ,2024-08-20

[6]

OLED面板掩膜板去膜清洗系统及其工作方法 [P].

周平 ;

张少平 .

中国专利 :CN120233625A ,2025-07-01

[7]

OLED照明板的掩膜板 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN105720211A ,2016-06-29

[8]

OLED掩膜板对位方法 [P].

高昕伟 ;

李雄熙 ;

车炯坤 .

中国专利 :CN102110787A ,2011-06-29

[9]

一种掩膜板及OLED面板的制备方法 [P].

李文杰 .

中国专利 :CN110095934B ,2019-08-06

[10]

一种掩膜板组、OLED面板及其制备方法 [P].

王彦杰 .

中国专利 :CN111129359A ,2020-05-08

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