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用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511075328.4
申请日：
2025-08-01
公开(公告)号：
CN120839661A
公开(公告)日：
2025-10-28
发明(设计)人：
夏俊东 康雷雷 杨亮
申请人：
川盈半导体科技（苏州）有限公司
申请人地址：
215127 江苏省苏州市吴中区甪直镇张庆街1号17幢202-1室
IPC主分类号：
B24B37/04
IPC分类号：
B24B37/11 B24B9/06 B24B41/00
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
赵涛春
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-28 公开 公开
2025-11-14 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/04申请日:20250801
共 50 条
[1]
一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备 [P]. 
赵德文 ;
路新春 .
中国专利 :CN112108993A ,2020-12-22
[2]
一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备 [P]. 
赵德文 ;
路新春 .
中国专利 :CN112108993B ,2024-11-26
[3]
一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备 [P]. 
赵德文 ;
路新春 .
中国专利 :CN210550369U ,2020-05-19
[4]
一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备 [P]. 
王宇 ;
孟松林 ;
魏兴武 .
中国专利 :CN115555989A ,2023-01-03
[5]
化学机械抛光设备与化学机械抛光工艺 [P]. 
胡俊汀 ;
谢祖怡 ;
曾子育 ;
郭永杰 ;
白弘吉 .
中国专利 :CN1986157A ,2007-06-27
[6]
化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P]. 
朱慧珑 ;
钟汇才 ;
梁擎擎 ;
赵超 .
中国专利 :CN102756323A ,2012-10-31
[7]
化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P]. 
李洪阳 ;
陈映松 ;
许振杰 ;
李长坤 ;
王科 .
中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19
[8]
化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P]. 
李洪阳 ;
陈映松 ;
许振杰 ;
李长坤 ;
王科 .
中国专利 :CN120862551A ,2025-10-31
[9]
化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P]. 
李洪阳 ;
陈映松 ;
许振杰 ;
李长坤 ;
王科 .
中国专利 :CN120134207A ,2025-06-13
[10]
化学机械抛光方法和化学机械抛光设备 [P]. 
邵群 ;
王庆玲 .
中国专利 :CN103035504B ,2013-04-10
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