一种片上高品质因子硫系光子晶体平板的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311541197.5

申请日：

2023-11-20

公开(公告)号：

CN117568746B

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

张斌黄健腾李朝晖胡桂莹夏迪杨水仙

申请人：

中山大学

申请人地址：

510275 广东省广州市海珠区新港西路135号

IPC主分类号：

C23C14/06

IPC分类号：

G02B1/00 G02F1/35 G02F1/355 G03F7/20 C23C14/24 C23C14/10 C23C14/58

代理机构：

深圳科润知识产权代理事务所(普通合伙) 44724

代理人：

孙长虹

法律状态：

授权

国省代码：

广东省广州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权
2024-02-20	公开	公开
2024-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/06申请日:20231120

共 50 条

[1]

一种片上高品质因子硫系光子晶体平板的制备方法 [P].

张斌 ;

黄健腾 ;

李朝晖 ;

胡桂莹 ;

夏迪 ;

杨水仙 .

中国专利 :CN117568746A ,2024-02-20

[2]

一种片上高品质因子硫系微环谐振腔的制备方法 [P].

张斌 ;

曾平羊 ;

李朝晖 ;

夏迪 ;

杨泽林 ;

宋景翠 ;

朱莺 .

中国专利 :CN110596988B ,2019-12-20

[3]

一种具有高品质因子的光子晶体微腔的实现方法 [P].

田慧平 ;

黄家钿 ;

杨大全 ;

纪越峰 .

中国专利 :CN102269842A ,2011-12-07

[4]

一种批量化高品质因子硫系悬空微盘制备方法 [P].

张斌 ;

宋景翠 ;

李朝晖 ;

潘竞顺 ;

朱莺 ;

曾平羊 ;

杨泽林 ;

夏迪 .

中国专利 :CN111103740B ,2020-05-05

[5]

一种高品质稀土掺杂的硫系薄膜的制备方法 [P].

张斌 ;

吴家越 ;

李朝晖 ;

杨泽林 ;

曾平羊 ;

张涛 ;

张鸣杰 .

中国专利 :CN111204973A ,2020-05-29

[6]

基于双色准周期势场的高品质因子铌酸锂光子晶体微腔 [P].

陈玉萍 ;

葛睿 ;

陈险峰 .

中国专利 :CN114879306A ,2022-08-09

[7]

一种高品质因子的衬底材料、制备方法及应用 [P].

冯英俊 ;

赵超 ;

彭江龙 .

中国专利 :CN115148584A ,2022-10-04

[8]

一种高品质因子的衬底材料、制备方法及应用 [P].

冯英俊 ;

赵超 ;

彭江龙 .

中国专利 :CN115148584B ,2025-04-25

[9]

一种硫系玻璃光子晶体光纤预制棒的制备方法 [P].

刘自军 ;

陈华 ;

王训四 ;

黄炎 ;

戴世勋 ;

许银生 ;

沈祥 ;

张培全 .

中国专利 :CN106995277A ,2017-08-01

[10]

一种高品质因子的滤波器件 [P].

王瑞军 ;

林墅 .

中国专利 :CN120669355A ,2025-09-19

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