一种晶圆对位平台装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422360490.8

申请日：

2024-09-27

公开(公告)号：

CN223513941U

公开(公告)日：

2025-11-04

发明(设计)人：

徐维哲

申请人：

芯蓥智铖（重庆）科技有限公司

申请人地址：

401325 重庆市大渡口区跳磴镇海康路106号1号楼801

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/68

代理机构：

上海专益专利代理事务所(特殊普通合伙) 31381

代理人：

崔梦霞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆对位平台装置 [P].

庄晓鹏 ;

史文涛 ;

叶昌隆 ;

杜海权 .

中国专利 :CN117238824B ,2024-06-21

[2]

一种对位平台装置 [P].

鉏晨涛 ;

苏超民 ;

冯鑫杰 ;

杨宇超 ;

范振海 ;

蒋华江 .

中国专利 :CN217279183U ,2022-08-23

[3]

全自动晶圆测试平台装置 [P].

董晓清 ;

孙盘泉 ;

戴京东 ;

陈仲宇 .

中国专利 :CN201233434Y ,2009-05-06

[4]

一种整形对位平台装置 [P].

黄仕生 ;

彭信翰 ;

荣向阳 ;

周宇超 ;

林国栋 ;

张松岭 ;

赵盛宇 .

中国专利 :CN213647270U ,2021-07-09

[5]

晶圆背面打标机的晶圆打标平台装置 [P].

陈有章 ;

林宜龙 ;

唐召来 ;

张松岭 ;

冀守恒 .

中国专利 :CN201075379Y ,2008-06-18

[6]

对位平台装置 [P].

李德昌 ;

陈裕锦 ;

梁昇平 ;

江新荣 .

中国专利 :CN103707074A ,2014-04-09

[7]

一种对位平台装置 [P].

鉏晨涛 ;

苏超民 ;

冯鑫杰 ;

杨宇超 ;

范振海 ;

蒋华江 .

中国专利 :CN114779504B ,2025-12-12

[8]

一种对位平台装置 [P].

鉏晨涛 ;

苏超民 ;

冯鑫杰 ;

杨宇超 ;

范振海 ;

蒋华江 .

中国专利 :CN114779504A ,2022-07-22

[9]

一种晶圆非接触式定位平台装置 [P].

刘乾峰 ;

郭易 ;

周鹏程 .

中国专利 :CN222507549U ,2025-02-18

[10]

一种新型精密对位平台装置 [P].

余辉 .

中国专利 :CN208946098U ,2019-06-07

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