一种晶圆盒信息自动管理系统及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202511454012.6
申请日
2025-10-13
公开(公告)号
CN120930670A
公开(公告)日
2025-11-11
发明(设计)人
王璐璐 罗国基 鲁传润 丁佳佳 陈知军 张松
申请人
合肥晶合集成电路股份有限公司
申请人地址
230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
IPC主分类号
G06K17/00
IPC分类号
代理机构
上海汉之律师事务所 31378
代理人
李友智
法律状态
公开
国省代码
天津市 市辖区
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共 50 条
[1]
晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法 [P]. 
李言彬 ;
杨苏 ;
洪兴峰 ;
李义群 .
中国专利 :CN113192872B ,2021-07-30
[2]
半导体晶圆盒自动仓储管理系统以及方法 [P]. 
沙伟中 .
中国专利 :CN118907703B ,2025-09-05
[3]
半导体晶圆盒自动仓储管理系统以及方法 [P]. 
沙伟中 .
中国专利 :CN118907703A ,2024-11-08
[4]
信息自动管理系统 [P]. 
李东 .
中国专利 :CN105631490A ,2016-06-01
[5]
信息自动管理系统 [P]. 
刘海波 ;
钟旭 .
中国专利 :CN103678251A ,2014-03-26
[6]
信息自动管理系统 [P]. 
高璐 .
中国专利 :CN108615060A ,2018-10-02
[7]
信息自动管理系统 [P]. 
陈崇传 .
中国专利 :CN106709391A ,2017-05-24
[8]
一种物料信息自动管理系统 [P]. 
张秋合 ;
范志伟 ;
郑聚备 ;
刘海波 ;
叶艳平 .
中国专利 :CN111401806A ,2020-07-10
[9]
FOSB晶圆盒管理方法和晶圆搬运系统 [P]. 
杨月琴 ;
李瀚霖 ;
窦茂泉 .
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[10]
一种晶圆传送盒的电子货架管理系统 [P]. 
周敏 ;
沈聪聪 ;
李响 ;
刘小贵 ;
丁颖 .
中国专利 :CN216748770U ,2022-06-14