多熔融机协同抽真空控制系统及控制方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202511080507.7
申请日
2025-08-04
公开(公告)号
CN120794308A
公开(公告)日
2025-10-17
发明(设计)人
王海东 李杰 陈荣贵 杨春慧 杨国军
申请人
宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
申请人地址
750002 宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路23号
IPC主分类号
C03B20/00
IPC分类号
C03B19/06
代理机构
宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105
代理人
孙彦虎
法律状态
实质审查的生效
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
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