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ALD温度均一性のためのPBNヒータ[ja]
被引:0
申请号
:
JP20200566537
申请日
:
2019-02-20
公开(公告)号
:
JP7763405B2
公开(公告)日
:
2025-11-04
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
H05B3/10
IPC分类号
:
H05B3/14
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 17 条
[1]
ALD温度均一性のためのPBNヒータ[ja]
[P].
日本专利
:JP2021514110A
,2021-06-03
[2]
均一性が改善されたヒータペデスタル[ja]
[P].
日本专利
:JP2024517982A
,2024-04-23
[3]
ワークピースの温度均一性を改善する装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2018509764A
,2018-04-05
[4]
温度均一性を提供するための熱循環装置および方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7152181B2
,2022-10-12
[5]
電池セルの温度均一性が向上した電池モジュール[ja]
[P].
日本专利
:JP7493869B2
,2024-06-03
[6]
電池セルの温度均一性が向上した電池モジュール[ja]
[P].
日本专利
:JP2023524708A
,2023-06-13
[7]
ワークピースの温度均一性を改善するためのハイブリッド高温静電クランプ[ja]
[P].
日本专利
:JP2023548296A
,2023-11-16
[8]
加工物の温度均一性を向上させる装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2018506175A
,2018-03-01
[9]
改善された温度均一性での空間ウエハ処理[ja]
[P].
日本专利
:JP2022505607A
,2022-01-14
[10]
改善された温度均一性での空間ウエハ処理[ja]
[P].
日本专利
:JP7200367B2
,2023-01-06
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