ALD温度均一性のためのPBNヒータ[ja]

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申请号
JP20200566537
申请日
2019-02-20
公开(公告)号
JP7763405B2
公开(公告)日
2025-11-04
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H05B3/10
IPC分类号
H05B3/14
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 17 条
[1]
ALD温度均一性のためのPBNヒータ[ja] [P]. 
日本专利 :JP2021514110A ,2021-06-03
[2]
均一性が改善されたヒータペデスタル[ja] [P]. 
日本专利 :JP2024517982A ,2024-04-23
[3]
ワークピースの温度均一性を改善する装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP2018509764A ,2018-04-05
[5]
[6]
[8]
加工物の温度均一性を向上させる装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP2018506175A ,2018-03-01
[9]
改善された温度均一性での空間ウエハ処理[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022505607A ,2022-01-14
[10]
改善された温度均一性での空間ウエハ処理[ja] [P]. 
日本专利 :JP7200367B2 ,2023-01-06