抛光液自动供液装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423305729.8

申请日：

2024-12-31

公开(公告)号：

CN223617509U

公开(公告)日：

2025-12-02

发明(设计)人：

陈宏陈伟

申请人：

声达半导体设备（江苏）有限公司

申请人地址：

215600 江苏省苏州市张家港市杨舍镇李巷村（金港大道东侧）1室

IPC主分类号：

B24B57/02

IPC分类号：

代理机构：

苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304

代理人：

许莉莉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-02	授权	授权

共 50 条

[1]

抛光液自动供液系统 [P].

陈炯杰 .

中国专利 :CN220548132U ,2024-03-01

[2]

一种抛光液供液装置 [P].

王堃 ;

李莹 ;

王俊 ;

刘东红 ;

何宏谦 ;

于秀 ;

陈冠宇 ;

杜莹 ;

唐晓磊 ;

王梓旭 .

中国专利 :CN221560986U ,2024-08-20

[3]

抛光液自动滴液装置 [P].

刘云 ;

张彪 ;

王立军 ;

王祥鹏 ;

王超 .

中国专利 :CN101073881A ,2007-11-21

[4]

环抛中抛光液的循环供液装置及供液方法 [P].

廖德锋 ;

王乙任 ;

谢瑞清 ;

赵世杰 ;

周炼 ;

陈贤华 ;

张飞虎 ;

张清华 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN109759957A ,2019-05-17

[5]

环抛中抛光液的循环供液装置 [P].

廖德锋 ;

王乙任 ;

谢瑞清 ;

赵世杰 ;

周炼 ;

陈贤华 ;

张飞虎 ;

张清华 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN209850697U ,2019-12-27

[6]

一种抛光液浓度在线测量装置及抛光液供液系统 [P].

周佩璠 ;

刘义彬 ;

张宁 ;

高胥华 ;

陈伦强 ;

张曼 ;

胡庆 ;

戴红玲 .

中国专利 :CN114965141B ,2024-12-31

[7]

一种抛光液供液设备 [P].

任红州 ;

张宇 ;

魏鹏 .

中国专利 :CN222345239U ,2025-01-14

[8]

杨伟明 .

中国专利 :CN1891777A ,2007-01-10

[9]

施翊璇 ;

汤弢 .

中国专利 :CN116285697B ,2025-04-11

[10]

斋江俊之 ;

上村哲也 .

中国专利 :CN101397481A ,2009-04-01

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