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剥离装置、剥离系统以及剥离方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202480026352.6
申请日：
2024-04-15
公开(公告)号：
CN121100401A
公开(公告)日：
2025-12-09
发明(设计)人：
本田胜 坂上贵志
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/02
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
王小香;李靖
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-09 公开 公开
共 50 条
[1]
剥离装置、剥离系统以及剥离方法 [P]. 
坂元直人 ;
徐光佑 .
日本专利 :CN119252758A ,2025-01-03
[2]
剥离装置、剥离系统以及剥离方法 [P]. 
坂元直人 ;
坂上贵志 ;
徐光佑 .
日本专利 :CN119252757A ,2025-01-03
[3]
剥离方法以及剥离装置 [P]. 
出口修央 .
中国专利 :CN102834339A ,2012-12-19
[4]
剥离装置以及剥离方法 [P]. 
上野美佳 ;
川越理史 ;
增市干雄 ;
上野博之 .
中国专利 :CN104070779A ,2014-10-01
[5]
剥离装置、层叠剥离装置以及剥离方法 [P]. 
河本健作 ;
松尾干太 .
日本专利 :CN121044418A ,2025-12-02
[6]
剥离装置以及剥离方法 [P]. 
川越理史 ;
正司和大 ;
芝藤弥生 ;
增市干雄 ;
上野博之 ;
上野美佳 ;
谷口和隆 .
中国专利 :CN103963421A ,2014-08-06
[7]
剥离装置以及剥离装置的剥离方法 [P]. 
梁大晧 ;
金善宽 ;
金钟大 ;
李圣勋 ;
张溢秀 .
中国专利 :CN114714749A ,2022-07-08
[8]
剥离系统和剥离方法 [P]. 
饭野克宏 .
日本专利 :CN121075951A ,2025-12-05
[9]
剥离装置以及剥离头 [P]. 
向田昌年 ;
今井康雄 .
中国专利 :CN105936440A ,2016-09-14
[10]
基板剥离方法以及基板剥离装置 [P]. 
孙贞洛 ;
金俊亨 ;
金桢皓 .
中国专利 :CN104128705A ,2014-11-05
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