碳化硅原料合成炉

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202511554055.1
申请日
2025-10-29
公开(公告)号
CN121025790A
公开(公告)日
2025-11-28
发明(设计)人
张军彦 周社柱 冯光志 张慧勇 李清冰
申请人
江苏君格志成科技有限公司 无锡市君格之辉高端装备有限公司 江苏超纯半导体材料有限公司
申请人地址
214000 江苏省无锡市惠山经济开发区和惠路8号
IPC主分类号
F27B14/02
IPC分类号
C01B32/984 F27B14/08
代理机构
深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247
代理人
刘一闯
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
超高真空碳化硅原料合成炉系统 [P]. 
靳启忠 ;
刘腾飞 ;
白剑铭 ;
陈满 ;
刘春播 ;
段聪 ;
赵焕君 .
中国专利 :CN112516916B ,2024-08-20
[2]
超高真空碳化硅原料合成炉系统 [P]. 
靳启忠 ;
刘腾飞 ;
白剑铭 ;
陈满 ;
刘春播 ;
段聪 ;
赵焕君 .
中国专利 :CN214346289U ,2021-10-08
[3]
超高真空碳化硅原料合成炉系统 [P]. 
靳启忠 ;
刘腾飞 ;
白剑铭 ;
陈满 ;
刘春播 ;
段聪 ;
赵焕君 .
中国专利 :CN112516916A ,2021-03-19
[4]
一种碳化硅原料合成炉 [P]. 
黎志欣 ;
胡动力 ;
李扬 ;
李占贤 ;
廖亚 ;
刘景和 .
中国专利 :CN114261967A ,2022-04-01
[5]
一种碳化硅原料合成炉 [P]. 
高为正 ;
沈宽宏 ;
蒋陶鑫 ;
高龙坤 ;
黄剑雄 .
中国专利 :CN119436835A ,2025-02-14
[6]
一种碳化硅原料合成炉 [P]. 
李冰 .
中国专利 :CN220670196U ,2024-03-26
[7]
一种碳化硅原料合成炉 [P]. 
高为正 ;
沈宽宏 ;
蒋陶鑫 ;
高龙坤 ;
黄剑雄 .
中国专利 :CN220472275U ,2024-02-09
[8]
一种碳化硅原料合成炉的热场及合成炉 [P]. 
李辉 ;
杨茜 ;
毛瑞川 ;
叶迎海 ;
郭志强 ;
逯文东 .
中国专利 :CN112725903A ,2021-04-30
[9]
可提高固相合成碳化硅出料率的合成方法及碳化硅合成炉 [P]. 
石广申 ;
马嘉骏 ;
章萌春 ;
杨青 .
中国专利 :CN120024898B ,2025-12-02
[10]
可提高固相合成碳化硅出料率的合成方法及碳化硅合成炉 [P]. 
石广申 ;
马嘉骏 ;
章萌春 ;
杨青 .
中国专利 :CN120024898A ,2025-05-23