用于芯片CVD沉积的正硅酸乙酯提纯工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310172488.5

申请日：

2023-02-24

公开(公告)号：

CN116375755B

公开(公告)日：

2025-12-02

发明(设计)人：

王欣陈其罗晗晗刘明锋甘俊陈圣云

申请人：

湖北江瀚新材料股份有限公司

申请人地址：

434000 湖北省荆州市沙市经济开发区群力大道36号

IPC主分类号：

C07F7/04

IPC分类号：

代理机构：

北京惠科金知识产权代理有限公司 11981

代理人：

刘潇

法律状态：

授权

国省代码：

湖北省荆州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种正硅酸乙酯的提纯方法 [P].

赵明海 .

中国专利 :CN109734742B ,2024-08-27

[2]

一种正硅酸乙酯的提纯方法 [P].

赵明海 .

中国专利 :CN109734742A ,2019-05-10

[3]

一种正硅酸乙酯的提纯装置 [P].

赵明海 .

中国专利 :CN210237504U ,2020-04-03

[4]

电子级正硅酸乙酯的制备装置 [P].

赵宇 ;

袁振军 ;

郭树虎 ;

万烨 ;

赵雄 ;

常欣 ;

刘见华 ;

毛西辰 ;

徐家扬 .

中国专利 :CN215026208U ,2021-12-07

[5]

一种高纯正硅酸乙酯提纯装置 [P].

金向华 ;

许军州 ;

师东升 ;

王新喜 ;

齐向前 ;

魏入铎 .

中国专利 :CN210751343U ,2020-06-16

[6]

正硅酸乙酯自动灌装系统 [P].

徐鹏 ;

邓涛 ;

魏学成 ;

刘长城 .

中国专利 :CN220788019U ,2024-04-16

[7]

一种正硅酸乙酯的制备方法 [P].

南洋 ;

杨志国 ;

骆彩萍 ;

陈维平 ;

郭亚杰 ;

马丽 .

中国专利 :CN119306752A ,2025-01-14

[8]

一种电子级正硅酸乙酯、电子级聚硅酸乙酯的合成工艺 [P].

刘明锋 ;

吴兵兵 ;

甘俊 ;

甘书官 ;

陈圣云 .

中国专利 :CN114507250A ,2022-05-17

[9]

一种低能耗正硅酸乙酯提纯设备 [P].

曹新华 ;

杨美晨 ;

曹德臣 .

中国专利 :CN216986336U ,2022-07-19

[10]

提高正硅酸乙酯转化效率系统 [P].

何启红 ;

郑涛涛 ;

李强 .

中国专利 :CN214863581U ,2021-11-26

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