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一种利用激光检测半导体表面平整度的设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511380559.6
申请日：
2025-09-25
公开(公告)号：
CN121048547A
公开(公告)日：
2025-12-02
发明(设计)人：
陈赛花
申请人：
南通嘉盛精密制造有限公司
申请人地址：
226000 江苏省南通市通州区金新街道金河路105号
IPC主分类号：
G01B11/30
IPC分类号：
代理机构：
江苏南通启海专利商标代理事务所(普通合伙) 32812
代理人：
陈麇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/30申请日:20250925 |
| 2025-12-02 | 公开 | 公开 |