共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种供电电路和化学气相沉积设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422891106.7
申请日：
2024-11-25
公开(公告)号：
CN223613234U
公开(公告)日：
2025-11-28
发明(设计)人：
万红
吴文菲
申请人：
中晟光电设备（上海）股份有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区华佗路168号3幢B区
IPC主分类号：
H02M5/12
IPC分类号：
H02J3/00
H02H3/32
C23C16/455
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
严慧
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-11-28 | 授权 | 授权 |