一种聚酰亚胺表面残留物清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423167816.1

申请日：

2024-12-20

公开(公告)号：

CN223629127U

公开(公告)日：

2025-12-05

发明(设计)人：

王永开孔宇航连杰

申请人：

柏川新材料科技（宁波）有限公司

申请人地址：

315048 浙江省宁波市高新区木槿路96号6#厂房一层A1

IPC主分类号：

B08B3/06

IPC分类号：

B08B3/02 B08B3/14 B08B13/00

代理机构：

宁波甬致专利代理有限公司 33228

代理人：

梁兴法

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-05	授权	授权

共 50 条

[1]

带钢表面残留物清洗装置 [P].

胡浩 ;

李志杰 ;

宗峻 ;

陈亚琛 ;

周立 ;

汪森文 .

中国专利 :CN202638785U ,2013-01-02

[2]

一种去除聚酰亚胺蚀刻后残留物的清洗液 [P].

王亮 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

欧阳克银 ;

万富强 ;

陈小超 ;

徐子豪 ;

吴政 ;

谢建 ;

汪凡杰 ;

彭秋桂 ;

孟牧麟 .

中国专利 :CN119410418A ,2025-02-11

[3]

用于去除表面残留物的蒸汽清洗装置 [P].

斯科特·热那亚 ;

许世辉 .

中国专利 :CN105916425A ,2016-08-31

[4]

一种可拆分式防着板表面残留物的清洗装置 [P].

张炎 .

中国专利 :CN218435919U ,2023-02-03

[5]

一种高效化学残留物的清洗装置 [P].

李申莹 .

中国专利 :CN207401849U ,2018-05-25

[6]

一种高效化学残留物的清洗装置 [P].

焦永杰 ;

缑卫军 ;

荆伟科 ;

李翀 ;

李超波 ;

刘莹 .

中国专利 :CN212349800U ,2021-01-15

[7]

一种高效化学残留物的清洗装置 [P].

黄爱平 .

中国专利 :CN222241812U ,2024-12-27

[8]

一种高效化学残留物的清洗装置 [P].

齐若冰 ;

张黎君 ;

张可擎 .

中国专利 :CN212821484U ,2021-03-30

[9]

一种产品表面残留物清理站 [P].

徐振国 ;

陈宗宏 ;

葛绍文 .

中国专利 :CN211217817U ,2020-08-11

[10]

一种清洗晶圆表面残留物的方法 [P].

邵红光 ;

李碧峰 ;

方向平 ;

李鹏 .

中国专利 :CN101204704A ,2008-06-25

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