基板処理装置、基板処理方法、及び記憶媒体[ja]

被引：0

申请号：

JP20240079527

申请日：

2024-05-15

公开(公告)号：

JP2025173775A

公开(公告)日：

2025-11-28

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/027

IPC分类号：

B05C11/08

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法律状态信息

共 50 条

[1]

基板処理装置及び基板処理方法[ja] [P].

NAGASHIMA YUJI .

日本专利 :JP2024108346A ,2024-08-13

[2]

基板処理装置および基板処理方法[ja] [P].

OTA TAKASHI .

日本专利 :JP2024170127A ,2024-12-06

[3]

基板処理方法および基板処理装置[ja] [P].

SAWAZAKI NAOKI ;

PARK HYOJOON .

日本专利 :JP2025119563A ,2025-08-14

[4]

基板処理装置および基板処理方法[ja] [P].

NEMOTO SHUHEI .

日本专利 :JP2024032110A ,2024-03-12

[5]

基板処理方法および基板処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP2025165461A ,2025-11-05

[6]

基板処理装置および基板処理方法[ja] [P].

KAMMURI TAKUYA ;

NAGAMI SOZO ;

OKAMOTO KOICHI ;

SAWASHIMA HAYATO .

日本专利 :JP2025115167A ,2025-08-06

[7]

基板処理装置および基板処理方法[ja] [P].

HONDA TAKUMI .

日本专利 :JP2024033157A ,2024-03-13

[8]

基板処理方法[ja] [P].

NISHIMURA YUDAI .

日本专利 :JP2024121131A ,2024-09-06

[9]

基板処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP2023001147A ,2023-01-04

[10]

処理装置、処理装置の制御方法、及び、記録媒体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016136196A1 ,2017-12-07

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