一种晶圆片表面胶体特征采集装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411166045.6

申请日：

2024-08-23

公开(公告)号：

CN121231358A

公开(公告)日：

2025-12-30

发明(设计)人：

高涵陈俊秀龚海沈海江刘进

申请人：

上欧科技（湖州）有限公司

申请人地址：

313000 浙江省湖州市红丰路1366号6幢9层988-33室

IPC主分类号：

G01N21/01

IPC分类号：

G01N21/88

代理机构：

哈尔滨市松花江联合专利商标代理有限公司 23213

代理人：

王长飞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆片位错图像采集装置及其采集方法 [P].

康鸿明 ;

林志鹏 ;

林文垚 ;

卢甲贞 ;

陈靖世 .

中国专利 :CN113298068A ,2021-08-24

[2]

一种晶圆片位错图像采集装置及其采集方法 [P].

康鸿明 ;

林志鹏 ;

林文垚 ;

卢甲贞 ;

陈靖世 .

中国专利 :CN113298068B ,2024-02-02

[3]

晶圆表面金属离子采集装置 [P].

蒲以松 .

中国专利 :CN213546269U ,2021-06-25

[4]

晶圆级图像采集装置 [P].

李凡月 .

中国专利 :CN107301392B ,2017-10-27

[5]

一种晶圆表面金属离子采集装置及方法 [P].

蒲以松 .

中国专利 :CN113567534B ,2021-10-29

[6]

一种特征采集装置 [P].

郑嵩 .

中国专利 :CN204117164U ,2015-01-21

[7]

一种晶圆片表面清洗装置 [P].

周旭 .

中国专利 :CN211879335U ,2020-11-06

[8]

一种晶圆片表面清洗装置 [P].

于如远 ;

李广德 ;

于强 .

中国专利 :CN215314273U ,2021-12-28

[9]

降雨特征采集装置 [P].

何自立 ;

刘泽 ;

甘学涛 ;

史良 ;

马孝义 .

中国专利 :CN109143412B ,2019-01-04

[10]

一种面部特征视觉采集装置 [P].

李凯明 ;

胡凤培 ;

鲍克坦 ;

蔡永鸿 ;

李祥宏 ;

蒋浩 .

中国专利 :CN221927157U ,2024-10-29

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