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多外延层的生长设备及生长方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511226985.4
申请日：
2025-08-29
公开(公告)号：
CN121110176A
公开(公告)日：
2025-12-12
发明(设计)人：
彭晖 罗绍迪 方旭凯 欧鹏 廖秋林
申请人：
桂林雷光科技有限公司
申请人地址：
541004 广西壮族自治区桂林市七星区高新区信息产业园D-08地块1#生产车间
IPC主分类号：
C30B25/02
IPC分类号：
C30B25/08 C30B25/12
代理机构：
桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134
代理人：
石燕妮
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
广西壮族自治区 桂林市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-30 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/02申请日:20250829
2025-12-12 公开 公开
共 50 条
[1]
外延生长设备及外延生长方法 [P]. 
胡彬 ;
王朋 ;
段焕涛 ;
李文 .
中国专利 :CN118166419A ,2024-06-11
[2]
外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P]. 
梁鹏欢 .
中国专利 :CN119685923A ,2025-03-25
[3]
外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P]. 
梁鹏欢 .
中国专利 :CN118814269A ,2024-10-22
[4]
多层外延层的生长设备以及生长方法 [P]. 
张斌 ;
陈浩 ;
张峰 .
中国专利 :CN101550590A ,2009-10-07
[5]
外延生长设备和外延生长方法 [P]. 
马欢 ;
田娜娜 ;
葛永晖 ;
蔡历武 ;
张明 .
中国专利 :CN119913608A ,2025-05-02
[6]
外延生长设备和外延生长方法 [P]. 
费璐 ;
林志鑫 ;
曹共柏 ;
王华杰 ;
董晨华 ;
季文明 .
中国专利 :CN110578166A ,2019-12-17
[7]
外延生长方法及外延生长装置 [P]. 
刘晨阳 ;
王力 .
中国专利 :CN119640396A ,2025-03-18
[8]
外延生长基座与外延生长方法 [P]. 
石桥昌幸 ;
J·F·克鲁格 ;
土肥敬幸 ;
堀江大造 ;
藤川孝 .
中国专利 :CN1526158A ,2004-09-01
[9]
基座、外延生长装置及外延生长方法 [P]. 
梁鹏欢 .
中国专利 :CN118996624A ,2024-11-22
[10]
外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P]. 
孙毅 ;
杨海龙 .
中国专利 :CN119764210B ,2025-11-18
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