一种偏振光检测装置及光刻设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420671889.5

申请日：

2024-04-02

公开(公告)号：

CN223728129U

公开(公告)日：

2025-12-26

发明(设计)人：

耿大卫董佳余洋吴晨瑄

申请人：

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

申请人地址：

201807 上海市嘉定区娄陆公路497号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

薛娇

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-26	授权	授权

共 50 条

[1]

偏振光分析装置及偏振光分析方法 [P].

川上彰二郎 ;

佐藤尚 ;

桥本直树 ;

佐佐木良裕 .

中国专利 :CN1930462A ,2007-03-14

[2]

一种圆偏振光检测装置 [P].

郝俊杰 ;

何慧琳 ;

成思敏 ;

李以文 ;

袁颂捷 ;

黄裕 ;

刘浩然 ;

唐浩东 ;

陈宇龙 ;

陈威 .

中国专利 :CN223139383U ,2025-07-22

[3]

一种圆偏振光检测方法 [P].

郝俊杰 ;

何慧琳 ;

成思敏 ;

李以文 ;

袁颂捷 ;

黄裕 ;

刘浩然 ;

唐浩东 ;

陈宇龙 ;

陈威 .

中国专利 :CN119086460A ,2024-12-06

[4]

一种偏振光转换装置及光源系统 [P].

葛明星 ;

陈龙 .

中国专利 :CN109188709A ,2019-01-11

[5]

偏振光检测系统 [P].

刘军库 ;

李关红 ;

李群庆 ;

范守善 .

中国专利 :CN103968949A ,2014-08-06

[6]

光学成像装置及偏振光内窥镜 [P].

郭毅军 ;

黄景鑫 .

中国专利 :CN218272890U ,2023-01-10

[7]

一种偏振光车灯 [P].

崔翔翰 ;

汪超林 .

中国专利 :CN207374219U ,2018-05-18

[8]

一种偏振光检测装置及激光通信终端设备 [P].

戴阅 ;

孙建锋 ;

郑磊 .

中国专利 :CN121163665A ,2025-12-19

[9]

一种偏振光转速测量装置 [P].

王耀军 ;

程文锋 .

中国专利 :CN207650228U ,2018-07-24

[10]

线偏振光检测装置及用于线偏振光检测的超构表面器件 [P].

曹悦 ;

董正高 ;

孙小伟 ;

温晓东 ;

刘禧萱 ;

朱紫暘 ;

雒倩雯 .

中国专利 :CN118730305A ,2024-10-01

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