一种合金靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511411200.0

申请日：

2025-09-29

公开(公告)号：

CN120888882B

公开(公告)日：

2025-12-26

发明(设计)人：

周贤界黄小玲关泽汉卢晓鹏刘杰徐红星张志强谢黎李宝英黄勇彪

申请人：

深圳众诚达应用材料股份有限公司

申请人地址：

518128 广东省深圳市宝安区新安街道海滨社区宝兴路6号海纳百川总部大厦A座5层

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

B22F3/04 B22F3/10 C23C14/14

代理机构：

北京正和明知识产权代理事务所(普通合伙) 11845

代理人：

李芳芳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	公开	公开
2025-12-26	授权	授权
2025-11-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20250929

共 50 条

[1]

一种合金靶材的制备方法 [P].

周贤界 ;

黄小玲 ;

关泽汉 ;

卢晓鹏 ;

刘杰 ;

徐红星 ;

张志强 ;

谢黎 ;

李宝英 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN120888882A ,2025-11-04

[2]

一种AlSc合金靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

陈少辉 ;

沈学峰 ;

慕二龙 .

中国专利 :CN119351960A ,2025-01-24

[3]

一种低氧含量合金靶材及其制备方法 [P].

周贤界 ;

侯宇航 ;

关泽汉 ;

卢晓鹏 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN118064847A ,2024-05-24

[4]

一种低氧含量合金靶材及其制备方法 [P].

周贤界 ;

侯宇航 ;

关泽汉 ;

卢晓鹏 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN118064847B ,2025-01-10

[5]

一种镍铂合金靶材制备方法 [P].

居炎鹏 ;

李心然 ;

赵泽良 ;

王永超 .

中国专利 :CN115415523B ,2024-04-30

[6]

一种镍铂合金靶材制备方法 [P].

居炎鹏 ;

李心然 ;

赵泽良 ;

王永超 .

中国专利 :CN115415523A ,2022-12-02

[7]

一种铜铟镓合金靶材的制备方法 [P].

宋伟杰 ;

杨晔 ;

许炜 .

中国专利 :CN106319469A ,2017-01-11

[8]

一种NiMnX合金靶材的制备方法 [P].

孙丹丹 ;

王保敏 ;

李润伟 ;

沈渊 .

中国专利 :CN104711471B ,2015-06-17

[9]

一种钼合金靶材制备方法 [P].

刘国军 ;

李胜春 ;

谈笑天 ;

苏志倩 ;

朱铁军 .

中国专利 :CN111850485A ,2020-10-30

[10]

一种高纯钌基合金靶材的制备方法 [P].

赵琪 ;

陈静洪 ;

施晨琦 ;

闻明 ;

巢云秀 ;

许彦亭 ;

李治东 ;

刘牛 .

中国专利 :CN118875285A ,2024-11-01

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