用于光刻的掩模数据处理方法及设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511365181.2

申请日：

2025-09-23

公开(公告)号：

CN121209212A

公开(公告)日：

2025-12-26

发明(设计)人：

张瑾轩

申请人：

光科芯图（北京）科技有限公司

申请人地址：

102600 北京市大兴区荣华中路22号院1号楼31层3101

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F1/70

代理机构：

北京力致专利代理事务所(特殊普通合伙) 11900

代理人：

陈博旸

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-26	公开	公开

共 50 条

[1]

用于光刻的掩模数据处理方法及设备 [P].

张瑾轩 .

中国专利 :CN120993686A ,2025-11-21

[2]

数据处理设备、用于数据处理设备的数据处理方法 [P].

近藤哲二郎 .

中国专利 :CN101969536B ,2011-02-09

[3]

数据处理方法、数据处理装置、掩模制造方法和掩模图案 [P].

丸本义朋 .

中国专利 :CN100513174C ,2007-05-16

[4]

数据处理设备及数据处理方法 [P].

望月义则 ;

森野东海 .

中国专利 :CN101834766A ,2010-09-15

[5]

数据处理方法及数据处理设备 [P].

骆健兰 ;

洪少林 ;

吴忠良 .

中国专利 :CN104156592B ,2014-11-19

[6]

数据处理设备及数据处理方法 [P].

池谷亮志 ;

山本真纪子 ;

篠原雄二 .

中国专利 :CN105103455A ,2015-11-25

[7]

数据处理方法及数据处理设备 [P].

滕新东 .

中国专利 :CN102684827B ,2012-09-19

[8]

数据处理方法及数据处理设备 [P].

李玮 ;

廖强 ;

夏博儒 ;

张俊峰 ;

楚梁 ;

陈维 ;

沈扬斯 ;

吴魁 ;

栾怀训 ;

谢晓民 .

中国专利 :CN113468567A ,2021-10-01

[9]

数据处理设备及数据处理方法 [P].

K·L·琼斯 .

中国专利 :CN101855636B ,2010-10-06

[10]

数据处理设备、数据处理方法及数据处理程序 [P].

吉光寺宏幸 ;

奥泽望 ;

山下慎介 ;

守谷淳 ;

村瀬泰弘 .

中国专利 :CN1816987A ,2006-08-09

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