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一种化学气相沉积设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202520257476.7
申请日：
2025-02-18
公开(公告)号：
CN223705816U
公开(公告)日：
2025-12-23
发明(设计)人：
崔名扬 任丽 贾莹莹 付亮
申请人：
河南天璇半导体科技有限责任公司
申请人地址：
450000 河南省郑州市河南自贸试验区郑州片区（郑东）龙湖中环路与龙源西四街交叉口启迪郑东科技城产促中心2楼226号
IPC主分类号：
C30B25/00
IPC分类号：
C30B29/04 C23C16/455 C23C16/511 C23C16/27
代理机构：
郑州睿信知识产权代理有限公司 41119
代理人：
王露娟
法律状态：
授权
国省代码：
广东省 汕头市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-23 授权 授权
共 50 条
[1]
一种化学气相沉积喷头及化学气相沉积设备 [P]. 
方鹏 .
中国专利 :CN223674737U ,2025-12-16
[2]
一种化学气相沉积设备 [P]. 
陈飞 ;
张杰 ;
张奇 .
中国专利 :CN223646630U ,2025-12-09
[3]
化学气相沉积设备 [P]. 
李景伦 .
中国专利 :CN201530864U ,2010-07-21
[4]
一种化学气相沉积设备 [P]. 
李涛 ;
王俊 ;
刘书凯 .
中国专利 :CN114574836A ,2022-06-03
[5]
一种化学气相沉积设备 [P]. 
蒋新和 ;
叶致峰 .
中国专利 :CN218089789U ,2022-12-20
[6]
一种化学气相沉积设备 [P]. 
李涛 ;
王俊 ;
刘书凯 .
中国专利 :CN114574836B ,2025-03-28
[7]
一种化学气相沉积设备用进气机构 [P]. 
黄波 ;
丁正和 ;
陈华顺 ;
刘东来 ;
何军 ;
张建耀 .
中国专利 :CN221608189U ,2024-08-27
[8]
承载装置及化学气相沉积设备 [P]. 
王骏 ;
张贺勇 .
中国专利 :CN222226550U ,2024-12-24
[9]
化学气相沉积设备 [P]. 
周向阳 .
中国专利 :CN223373222U ,2025-09-23
[10]
化学气相沉积设备 [P]. 
周向阳 .
中国专利 :CN223268760U ,2025-08-26
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