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MEMS麦克风的制备方法及MEMS麦克风
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211719757.7
申请日：
2022-12-30
公开(公告)号：
CN116170737B
公开(公告)日：
2025-12-12
发明(设计)人：
隋欢
闾新明
申请人：
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请人地址：
312035 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号
IPC主分类号：
H04R31/00
IPC分类号：
H04R19/04
代理机构：
苏州锦尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32502
代理人：
李洋;李丹
法律状态：
授权
国省代码：
浙江省
绍兴市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-12 | 授权 | 授权 |