一种高效抛光液及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511558074.1

申请日：

2025-10-29

公开(公告)号：

CN121160230A

公开(公告)日：

2025-12-19

发明(设计)人：

陈斌刘胥冠王鑫陈冬莉罗向阳

申请人：

中机半导体材料（深圳）有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区万延工业区第六栋101

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

H01L21/304

代理机构：

北京华艺德嘉知识产权代理有限公司 16326

代理人：

李斌

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种抛光液及其制备方法 [P].

王辰伟 ;

李星 ;

雷双双 ;

李仕权 ;

张俊华 .

中国专利 :CN119144236A ,2024-12-17

[2]

抛光液及其制备方法 [P].

李俊锋 ;

李青 ;

徐兴军 ;

张广涛 ;

闫冬成 ;

王丽红 ;

郑权 .

中国专利 :CN107629701B ,2018-01-26

[3]

高效陶瓷抛光液及其制备方法 [P].

孙韬 ;

周涛 .

中国专利 :CN103484026A ,2014-01-01

[4]

抛光液及其制备方法与应用 [P].

邹兴 ;

万玉喜 ;

胡浩林 ;

曾威 ;

王晓萍 .

中国专利 :CN117567942A ,2024-02-20

[5]

一种高抛光度CMP抛光液及其制备方法 [P].

王继宝 ;

周翠苹 .

中国专利 :CN113201284A ,2021-08-03

[6]

一种精抛光液及其制备方法 [P].

包亚群 .

中国专利 :CN109233644B ,2019-01-18

[7]

一种抛光液及其制备方法、应用 [P].

张中明 .

中国专利 :CN112778912A ,2021-05-11

[8]

一种复合抛光液及其制备方法 [P].

刘欢锐 ;

邓文才 ;

何昱江 .

中国专利 :CN107828340B ,2018-03-23

[9]

一种晶片抛光用抛光液及其制备方法 [P].

李加海 ;

梁则兵 .

中国专利 :CN115386297A ,2022-11-25

[10]

一种晶片抛光用抛光液及其制备方法 [P].

李加海 ;

梁则兵 .

中国专利 :CN115386297B ,2024-04-26

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