一种用于CD-SEM量测的参数预测模型构建方法、预测方法及预测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510010170.6

申请日：

2025-01-03

公开(公告)号：

CN119831973B

公开(公告)日：

2025-12-26

发明(设计)人：

刘珠明陈德龙吴和明葛进国陈杏文朱亚楠张子彤陈志涛

申请人：

广东省科学院半导体研究所

申请人地址：

510651 广东省广州市天河区长兴路363号

IPC主分类号：

G06T7/00

IPC分类号：

G01B15/00 G06T7/60 G06N3/084 G06N3/0499 G06N3/048

代理机构：

北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400

代理人：

黄锦添

法律状态：

授权

国省代码：

广东省广州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-26	授权	授权
2025-04-15	公开	公开
2025-05-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20250103

共 50 条

[1]

一种用于CD-SEM量测的参数预测模型构建方法、预测方法及预测系统 [P].

刘珠明 ;

陈德龙 ;

吴和明 ;

葛进国 ;

陈杏文 ;

朱亚楠 ;

张子彤 ;

陈志涛 .

中国专利 :CN119831973A ,2025-04-15

[2]

预测模型构建方法、门诊量预测方法及装置 [P].

马慧生 ;

李书霞 ;

李乃鹏 .

中国专利 :CN108229714A ,2018-06-29

[3]

清凉指数预测模型构建、预测方法及系统 [P].

唐家萍 ;

何军 .

中国专利 :CN121235297A ,2025-12-30

[4]

标准必要专利预测模型构建方法、预测方法、系统 [P].

原佳亮 ;

郑艳蓉 ;

任怡睿 ;

刘亚南 ;

王舒寒 ;

吕昊晟 ;

丁晨平 ;

杨舒婷 ;

周宏 ;

王骁迪 ;

楼铁城 ;

陈越超 ;

杨天宇 .

中国专利 :CN121144952A ,2025-12-16

[5]

翻译模型构建方法、产物预测模型构建方法及预测方法 [P].

柳彦宏 ;

戴开洋 ;

张浩 .

中国专利 :CN113838536B ,2021-12-24

[6]

用于逾期金额预测的神经网络模型构建方法及预测系统 [P].

江远强 .

中国专利 :CN114529053A ,2022-05-24

[7]

一种车辆出行量预测模型构建方法及预测方法和系统 [P].

陈柘 ;

刘嘉华 ;

赵斌 ;

段宗涛 ;

唐蕾 ;

樊娜 ;

杨云 .

中国专利 :CN113380025A ,2021-09-10

[8]

一种车辆出行量预测模型构建方法及预测方法和系统 [P].

陈柘 ;

赵斌 ;

汪玥晗 ;

段宗涛 ;

樊娜 ;

康军 .

中国专利 :CN111653088B ,2020-09-11

[9]

业务量预测模型构建方法和业务量预测方法 [P].

李思文 ;

盛夏 ;

刘琼 .

中国专利 :CN113918884A ,2022-01-11

[10]

一种采空区预测模型构建方法、装置及预测方法 [P].

翟广庆 ;

沈冰舰 ;

熊春雷 ;

李显巨 ;

冯健 ;

陈超 ;

何善友 ;

郑子文 ;

程秀丽 ;

鲁九霄 ;

尹德春 ;

李艺璇 .

中国专利 :CN120105172A ,2025-06-06

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