真空镀膜夹具及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410757631.1

申请日：

2024-06-13

公开(公告)号：

CN121137546A

公开(公告)日：

2025-12-16

发明(设计)人：

冀志敏杨一博王政王宇飞苏艳梅张冶金

申请人：

中国科学院半导体研究所

申请人地址：

100083 北京市海淀区清华东路甲35号

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

李婉婉

法律状态：

公开

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-16	公开	公开

共 50 条

[1]

真空镀膜夹具及真空镀膜装置 [P].

张杰 ;

李标章 ;

黄裕祥 .

中国专利 :CN215713345U ,2022-02-01

[2]

真空镀膜夹具及真空镀膜设备 [P].

朱双林 ;

马国忠 .

中国专利 :CN119162552A ,2024-12-20

[3]

真空镀膜装置 [P].

王洪学 ;

魏江江 ;

尹晓芳 ;

王子墨 .

中国专利 :CN119571263A ,2025-03-07

[4]

真空镀膜装置 [P].

唐春梅 .

中国专利 :CN216891188U ,2022-07-05

[5]

真空镀膜装置及系统 [P].

安乐 ;

秦小宏 .

中国专利 :CN220724328U ,2024-04-05

[6]

真空镀膜夹具 [P].

陈君 .

中国专利 :CN210916244U ,2020-07-03

[7]

真空镀膜夹具 [P].

陈君 .

中国专利 :CN110724926A ,2020-01-24

[8]

真空镀膜用冷却机构及真空镀膜装置 [P].

全首旭 ;

钟大龙 ;

李博研 ;

尚铁炜 ;

魏垚 ;

张建柱 ;

王子鑫 ;

刘晓宇 .

中国专利 :CN118532877A ,2024-08-23

[9]

镀膜伞架及真空镀膜设备 [P].

邵鑫 ;

龙汝磊 .

中国专利 :CN220827455U ,2024-04-23

[10]

真空镀膜装置及真空双面镀膜装置 [P].

蒯一希 .

中国专利 :CN204125523U ,2015-01-28

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