基于参数泵浦的双闭环谐振式压力传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511502111.7

申请日：

2025-10-21

公开(公告)号：

CN120970858B

公开(公告)日：

2025-12-26

发明(设计)人：

陈德勇夏文良王军波谢波鲁毓岚

申请人：

中国科学院空天信息创新研究院

申请人地址：

100190 北京市海淀区北四环西路19号

IPC主分类号：

G01L1/10

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

周天宇

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-26	授权	授权
2025-11-18	公开	公开
2025-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/10申请日:20251021

共 50 条

[1]

基于参数泵浦的双闭环谐振式压力传感器 [P].

陈德勇 ;

夏文良 ;

王军波 ;

谢波 ;

鲁毓岚 .

中国专利 :CN120970858A ,2025-11-18

[2]

量程灵敏度可调的谐振式压力传感器 [P].

陈德勇 ;

夏文良 ;

秦佳新 ;

王军波 ;

谢波 ;

鲁毓岚 .

中国专利 :CN120800600A ,2025-10-17

[3]

量程灵敏度可调的谐振式压力传感器 [P].

陈德勇 ;

夏文良 ;

秦佳新 ;

王军波 ;

谢波 ;

鲁毓岚 .

中国专利 :CN120800600B ,2025-12-23

[4]

谐振式压力传感器 [P].

王军波 ;

谢波 ;

陈德勇 ;

王艳双 .

中国专利 :CN105203234A ,2015-12-30

[5]

基于压阻检测的谐振式压力传感器及其制备方法 [P].

陈德勇 ;

鲁毓岚 ;

王军波 ;

侍小青 ;

谢波 .

中国专利 :CN108516518A ,2018-09-11

[6]

石英谐振压力传感器 [P].

王武立 .

中国专利 :CN2748889Y ,2005-12-28

[7]

井下石英谐振式压力传感器 [P].

陈敏 .

中国专利 :CN105092136A ,2015-11-25

[8]

谐振压力传感器 [P].

岩井滋人 ;

汤本淳志 ;

野吕诚 ;

吉田隆司 .

中国专利 :CN113188690A ,2021-07-30

[9]

氮化铝压电MEMS谐振式压力传感器 [P].

杨健 ;

赵广宏 ;

许姣 ;

尹玉刚 ;

陈平 .

中国专利 :CN113295303A ,2021-08-24

[10]

基于微机械的电磁激励谐振式压力传感器 [P].

陈德勇 ;

史晓晶 ;

王军波 ;

毋正伟 .

中国专利 :CN102374909A ,2012-03-14

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