用于位移测量系统的电光相位调制器及位移测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310304061.6

申请日：

2023-03-27

公开(公告)号：

CN116360129B

公开(公告)日：

2025-12-19

发明(设计)人：

高超董登峰周维虎纪荣祎石俊凯潘映伶

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G02F1/03

IPC分类号：

G01B11/02 G01S7/481 G01S17/08 G02F1/01 G02F1/13363 G02B5/30 G02B26/06

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

吴梦圆

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	授权	授权

共 50 条

[1]

电光相位调制器及系统 [P].

周培松 ;

占春连 ;

龙康 .

中国专利 :CN121069652A ,2025-12-05

[2]

电光相位调制器半波电压的测量方法及系统 [P].

杨宏志 ;

王磊 ;

王思佳 ;

孙玉成 ;

毛叶飞 ;

秦鹏 ;

周菊 ;

高原 ;

张子越 ;

张蕾 .

中国专利 :CN113325216B ,2021-08-31

[3]

集成电光相位调制器电光相位调制系数测量方法 [P].

刘承 ;

陈杏藩 ;

舒晓武 .

中国专利 :CN101046411A ,2007-10-03

[4]

电光相位调制器调制系数的测量方法 [P].

张尚剑 ;

王恒 ;

邹新海 ;

尹欢欢 ;

张雅丽 ;

刘永 .

中国专利 :CN103926059A ,2014-07-16

[5]

一种电光相位调制器半波电压测量系统 [P].

宋红岩 ;

刘云 ;

韩正甫 .

中国专利 :CN206960541U ,2018-02-02

[6]

微探头偏振光相位调制的干涉位移测量系统及方法 [P].

董祎嗣 ;

张晨 ;

李雯雯 ;

骆文瑞 ;

吴亦凡 ;

胡鹏程 .

中国专利 :CN116878394B ,2024-04-19

[7]

一种电光相位调制器半波电压测量系统及测量方法 [P].

冯振华 ;

付松年 ;

唐明 ;

朱冬宏 ;

田群 ;

周金龙 .

中国专利 :CN104020334A ,2014-09-03

[8]

一种电光相位调制器半波电压测量系统和测量方法 [P].

宋红岩 ;

刘云 ;

韩正甫 .

中国专利 :CN107121585A ,2017-09-01

[9]

位移测量系统 [P].

贺清先 .

中国专利 :CN2641586Y ,2004-09-15

[10]

位移测量系统 [P].

张书练 ;

曾召利 ;

李岩 .

中国专利 :CN103115571B ,2013-05-22

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