SPATIAL-FREQUENCY FILTERING USING MULTIPLE-PASS PRINTING

被引：3

作者：

YE, J

BERGLUND, CN

PEASE, RFW

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1994年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.587531

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：3455 / 3459

页数：5

共 4 条

BERGLUND, CN ;

MALUF, NI ;

YE, J ;

OWEN, G ;

BROWNING, R ;

PEASE, RFW .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 1992, 10 (06) :2633-2637

DAMERON, DH ;

FU, CC ;

PEASE, RFW .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 1988, 6 (01) :213-215

[3]

MILNER KS, 1991, P SOC PHOTO-OPT INS, V1496, P180, DOI 10.1117/12.46756

[4]

YE J, 1993, SEP PHOT TECHN MAN 9