A MULTIPLE EXPOSURE STRATEGY FOR REDUCING BUTTING ERRORS IN A RASTER-SCANNED ELECTRON-BEAM EXPOSURE SYSTEM

被引：7

作者：

DAMERON, DH

FU, CC

PEASE, RFW

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.584007

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：213 / 215

页数：3

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共 4 条

[1]

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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 1987, 5 (01) :129-134