LAYER-BY-LAYER GROWTH OF METAL OVERLAYERS

被引:46
作者
GERMAR, R
DURR, W
KREWER, JW
PESCIA, D
GUDAT, W
机构
来源
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING | 1988年 / 47卷 / 04期
关键词
D O I
10.1007/BF00615504
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:393 / 398
页数:6
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