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LAYER-BY-LAYER GROWTH OF METAL OVERLAYERS
被引:46
作者
:
GERMAR, R
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GERMAR, R
DURR, W
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DURR, W
KREWER, JW
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KREWER, JW
PESCIA, D
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PESCIA, D
GUDAT, W
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0
GUDAT, W
机构
:
来源
:
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING
|
1988年
/ 47卷
/ 04期
关键词
:
D O I
:
10.1007/BF00615504
中图分类号
:
T [工业技术];
学科分类号
:
08 ;
摘要
:
引用
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页码:393 / 398
页数:6
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