AC ELECTRICAL BREAKDOWN IN THIN SILICON OXIDE FILMS

被引：46

作者：

KLEIN, N

LEVANON, N

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1710201

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：3721 / +

页数：1

共 7 条

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