COALESCENCE AND AGGLOMERATION OF GOLD FILMS

被引：36

作者：

PAULSON, GG

FRIEDBER.L

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(70)90050-7

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：47 / &

相关论文

共 5 条

[1]

FEHLNER FP, 1967, 3 T INT VAC C 3, V2, P691

[2]

HUTCHINSON TE, 1968, 26 P ANN M EL MICR S, P376

[3] NUCLEATION AND INITIAL-GROWTH BEHAVIOR OF THIN-FILM DEPOSITS [J].

LEWIS, B ;

CAMPBELL, DS .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1967, 4 (05) :209-&

[4]

MOROZOV P, 1946, ZH TEKH FIZ, V16, P857

[5]

Neugebauer C., 1964, PHYS THIN FILMS, VII, P1