FORMATION OF SILICON-CARBIDE POWDERS BY THE VAPOR-PHASE REACTION OF THE SIH4-CH4-H2 SYSTEM

被引：6

作者：

OKABE, Y

HOJO, J

KATO, A

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1246/nikkashi.1980.188

中图分类号：

O6 [化学];

学科分类号：

0703 ;

摘要：

引用

页码：188 / 193

页数：6

共 9 条

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